본문 바로가기
반응형

전체 글72

반도체 8대 공정 간단히 알아보기 par.4 @ 플라즈마 식각 기술 안녕하세요, 송송입니다. 이번에도 플라즈마내에서 발생하는 현상에 대해 공부해보겠습니다. 플라즈마는 사실 우리 눈에는 아름답게 빛나보이지만, 실제로는 많은 일을 하고 있다는 사실! 참 대단한 녀셕이에요. 그럼 오늘도 시작해 보시죠. 1. 디바이 쉴딩(Debye shieding) - 플라즈마 내 전위 변화가 있을 떄, 이 전위의 변화를 지수적으로 감소시켜 전위의 변화를 차단하는 현상 만일 한 지역에 순간적인 potential 변화가 생길 경우에 Poisson's equatuin(푸아송 방정식)과 Boltzmann 식을 이용하여 거리에 따른 전위의 변화값에 대한 식을 구할 수 있습니다. 전하 위치로부터 멀어짐에 따라서 지수적으로 그 전위가 감소하게 되는데요, 어느 지역을 넘어서면 charge된 전하의 전위를 .. 2023. 7. 10.
반도체 8대 공정 간단히 알아보기 part.4 @ 식각 공정 + 플라즈마에 관하여(2) 안녕하세요, 송송입니다. 어쩌다 보니 플라즈마에 관한 이야기를 많이 하게 되네요. 이번 시간에도 플라즈마에 관한 지식들을 함께 배워보겠습니다. 그럼 시작하시죠~ 1. 플라즈마 전위 : 전자, 이온, 라디칼, 중성원자로 구성된 플라즈마 갖는 전위를 뜻함 - 플라즈마 내에는 전자, 이온, 라디칼, 중성원자 등으로 이루어져있다고 했습니다. 이 들은 각자 갖는 전위가 있겠죠. - 우리는 어떠한 공간속에 전자가 몇개있고, 이온이 몇개있다. 이렇게 말할 수 없습니다. 양자역학 아시죠? 양자역학에서는 매우 간단하게 정의합니다. 저기엔 전자가 2개있어! 가 아닌 저기엔 전자가 2개 있을 확률이 ~~%가 있지 큼! 이렇게 플라즈마 내 전자, 이온, 중성원자도 마찬가지로 기판에 도달하는 Flux가 확률상으로 나타낼 수 있.. 2023. 7. 9.
반도체 8대 공정 간단히 알아보기 part.4 @ 플라즈마에 관하여 안녕하세요, 송송입니다. 식각 공정에 연장선으로 계속하여 플라즈마에 관해 설명하고 있습니다. 왜 이렇게 플라즈마로 질질 끄느냐? 그만큼 정말 이 분야에서 중요한 것이기 떄문입니다. 플라즈마에 관한 지식을 갖추고 있어야 공정 엔지니어로써의 자질이 생기는 것입니다. 한마디로, 어떤 이슈가 생겼을 떄 어떻게 대처할 수 있는지를 보려면 기본적 지식과 경험이 바탕되어야합니다. 경험은 직장에 가서 해보시구 지식은 지금 쌓아보자구요. 그럼 시작합니다. ▶ 플라즈마 내에서 발생하는 현상들은 전자, 이온, 원자, 그리고 분자간 충돌 현상에 의해 생깁니다 .... 충돌이라.... 충돌도 탄성 충돌(Elastic collisions)와 비탄성 충돌(Inelastic collisions)가 있습니다. 1) 탄성 충돌 : 입사.. 2023. 7. 8.
반도체 8대 공정 part.4 @ 플라즈마 식각 장비 (2) 안녕하세요, 송송입니다. 원래는 저번 시간에 모두 소개하려했던 것인데.. 글을 적다보니 이것도 중요하고~ 저것도 알아야할 듯 싶고~ 해서 적다보니 결국은 Sputtering 방식 밖에 설명하지 못했네요;; 이번 시간엔 플라즈마 식각에 영향을 주는 요인을 간단하게 얘기하고 식각 장비를 얘기해볼게요. ▶ 플라즈마 식각에 영향을 주는 요인 1) 챔버 벽(Chamer wall) 플라즈마 식각에서 챔버 벽과 같이 플라즈마에 직접적으로 노출되는 부분은 식각 특성에 영향을 줄 수 있습니다. 이는 챔버 벽 뿐만 아니라, 장비 내 소모성 부품들도 포함됩니다. 특히나 고밀도 플라즈마 환경에서는 챔벼 벽 및 샤워헤드 포커스링과 같은 부품들이 플라즈마에 의해 부식되고 오염 입 자를 발생시켜 수율 감소의 주 원인이 되기도 합니.. 2023. 7. 7.
반응형