반응형 오염 입자1 반도체 간단히 알아보기 @ 오염 입자 안녕하세요, 송송입니다. 계속해서 반도체에 관한 간단한 소개를 드리고 있는데요, 저번 시간에는 FAB에 관해 같이 알아보았습니다. FAB에서 Clean room이 중요하다고 말씀드렸었는데, 그 이유는 바로 수율 감소에 원인이 되고 있는 오염입자란 무서운 녀셕 때문입니다. 그래서 이번 시간에는 오염 입자(Contamination particles)에 관한 간단히 알아보도록 하겠습니다. 1. 오염 입자(Contamination particles) - 말 그대로 Wafer위 입자가 떨어지는 것을 지칭하며, 이 입자로 인해 원하는 회로가 정상작동 하지 않음 - 오염 입자는 물질, 사람, 웨이퍼, 장비 등 다양한 곳을 통해 발생되고 있습니다. 물질의 경우는 우리가 포토 공정, 식각 공정을 하기 위한 화학 물질 또.. 2023. 7. 25. 이전 1 다음 반응형
