반응형 플라즈마 식각2 [극저온 식각] Cryogenic Etching이란 무엇인가? 안녕하세요, 송송입니다. 이번엔 극저온 식각(Cryogenic Etching)에 대해 간단히 알아보겠습니다.!근래 기술은 매우 빠른 속도로 발전해가고 있습니다. 매년 새로운 아이템들이 쏟아져 나오고 있죠. 그것도 매번 기능을 업데이트 한 채로 말이죠. 반도체 기술의 발전은 어떨까요??지금 우리가 사용하고 있는 전자기기들의 트렌드를 보면 알 수 있습니다. 우리는 어떤 걸 원할까요?빠르고, 휴대하기 편하게 작고 가볍고 똑똑한 기기가 현재 가장 중요한 포인트입니다.이러한 기기들을 만들기 위해, 우리 반도체 기술도 맞춰 발전해 나가고 있습니다. 그 중, 극저온 식각이라는 기술이 새롭게 각광받고 있죠. 바로 함께 알아가 보도록 하겠습니다. ▶ 극저온 식각(Cryogenic Etching)- 식각 공정을 영하 -.. 2024. 12. 23. 반도체 공정 간단히 알아보기 part.4 @ 식각 공정 (1) 안녕하세요, 송송입니다. 이번엔 반도체 8대 공정 중 하나인 식각 공정에 대해 얘기해보도록 하겠습니다. 저번 시간에 같이 얘기했던 포토 공정이 끝나고 웨이퍼 위에 원하는 회로패턴을 형성했다면, 식각 공정을 거쳐야합니다. 식각 공정이 대체 뭔데!? 자, 그럼 시작하겠습니다. 1. 식각(Etching)이란? - 웨이퍼에서 필요한 회로 패턴을 제외한 나머지 부분을 제거하는 공정 2. 식각 종류 - 습식 식각(Wet etch) : 반응성 용액을 이용한 화학적 식각 * 장점 : 식각률(etch rate)이 좋음 식각 선택도(Etch selectivity)가 좋음 @ 등방성 식각(Isotropic etching)이 가능하다! → 같은 물질이 균일하게 증착되어 있는 경우, 이 물질을 완전히 제거하는 데 있어 건식 식.. 2023. 7. 4. 이전 1 다음 반응형
