반응형 플라즈마 식각1 반도체 공정 간단히 알아보기 part.4 @ 식각 공정 (1) 안녕하세요, 송송입니다. 이번엔 반도체 8대 공정 중 하나인 식각 공정에 대해 얘기해보도록 하겠습니다. 저번 시간에 같이 얘기했던 포토 공정이 끝나고 웨이퍼 위에 원하는 회로패턴을 형성했다면, 식각 공정을 거쳐야합니다. 식각 공정이 대체 뭔데!? 자, 그럼 시작하겠습니다. 1. 식각(Etching)이란? - 웨이퍼에서 필요한 회로 패턴을 제외한 나머지 부분을 제거하는 공정 2. 식각 종류 - 습식 식각(Wet etch) : 반응성 용액을 이용한 화학적 식각 * 장점 : 식각률(etch rate)이 좋음 식각 선택도(Etch selectivity)가 좋음 @ 등방성 식각(Isotropic etching)이 가능하다! → 같은 물질이 균일하게 증착되어 있는 경우, 이 물질을 완전히 제거하는 데 있어 건식 식.. 2023. 7. 4. 이전 1 다음 반응형
