반응형 원차층 식각1 차세대 식각 기술 @ ALE 간단히 알아보기 안녕하세요, 송송입니다. 최근 포스팅에서 다 지루하고 살짝 어려운 플라즈마 이론에 대해 함께 공부했습니다. 이제는 이론을 넘어서 요즘 식각 공정은 뭘 원하고, 어떻게 돌아가고 있는지 한번 알아보는 시간 갖겠습니다. 이번 시간에는 플라즈마 식각 공정 기술 중, ALE(Atomic Layer etch)에 대해 간단히 알아보겠습니다. 1. What is the ALE? - ALE(Atomic Layer Etch) 원자층 식각 공정 ▶ 제가 소개할떄 뭐 최근 트랜드니 그랬지만, 실상은 ALE 기술은 30년 전 첫 연구된 아주 오래전 기술입니다. 그런데 왜 대체 지금와서 최신 기술이니 뭐니 떠드는거야?? → 예전에는 낮은 생산 수율로 인해 그저그런 기술로 평가받았습니다만, 현재 반도체 소자가 나노 스케일로 작아지.. 2023. 7. 14. 이전 1 다음 반응형
