반도체 8대 공정 간단히 알아보기 part.4 @ 식각 공정 + 플라즈마에 관하여(2)
안녕하세요, 송송입니다. 어쩌다 보니 플라즈마에 관한 이야기를 많이 하게 되네요. 이번 시간에도 플라즈마에 관한 지식들을 함께 배워보겠습니다. 그럼 시작하시죠~ 1. 플라즈마 전위 : 전자, 이온, 라디칼, 중성원자로 구성된 플라즈마 갖는 전위를 뜻함 - 플라즈마 내에는 전자, 이온, 라디칼, 중성원자 등으로 이루어져있다고 했습니다. 이 들은 각자 갖는 전위가 있겠죠. - 우리는 어떠한 공간속에 전자가 몇개있고, 이온이 몇개있다. 이렇게 말할 수 없습니다. 양자역학 아시죠? 양자역학에서는 매우 간단하게 정의합니다. 저기엔 전자가 2개있어! 가 아닌 저기엔 전자가 2개 있을 확률이 ~~%가 있지 큼! 이렇게 플라즈마 내 전자, 이온, 중성원자도 마찬가지로 기판에 도달하는 Flux가 확률상으로 나타낼 수 있..
2023. 7. 9.
