반응형 증착 공정2 반도체 8대 공정 간단히 알아보기 part.5 @ ALD 안녕하세요, 송송입니다. 저번 시간에는 증착 공정에서 CVD, PVD에 대해 알아봤습니다. 이번 시간에는 Atomic Layer Deposion 공정에 대해 알아보겠습니다. 식각 공정에서 다뤘던 ALE 공정의 역방향으로 생각하시면 충분히 이해하기 쉬울거라고 생각합니다. ALE도 잘 모르겠다면 이전 글을 참고하세요! 2023.07.14 - [분류 전체보기] - 차세대 식각 기술 @ ALE 간단히 알아보기 1. ALD(Atomic Layer Deposition) : 원차층 증착법 - 한층 한층씩 증착시킨다는 말입니다. 자, 그럼 어떻게 한층 한층 쌓느냐. 같이 알아보겠습니다. - ALD는 쉽게 4 Step으로 나눌 수 있습니다. 1) 흡착 단계 : 전구체를 챔버에 주입하면 기판과 화학 반응한다. * 전구체 .. 2023. 7. 18. 반도체 8대 공정 간단히 알아보기 part5 @ CVD, PVD 안녕하세요, 송송입니다. 저번 시간엔 증착 공정에 대해 간단히 알아보았는데요, 증착하는 방법에 따라 CVD, PVD로 나뉜다고 말씀드렸었죠? 이번 시간에는 CVD와 PVD에 대해 알아보겠습니다. 그럼 바로 시작하시죠. 1. CVD(Chemical Vapor Deposition) : 화학적 기상 증착법 - 반응기 안에서 화학 증착 반응 기체들을 주입하여 화학 반응에 의해 생성된 고체 화합물을 증착시키는 방법 *말이 어렵죠. 간단히 가볼게요. 반응기=챔버 챔버 안에 우리가 증착하고자 하는 물질을 생성할 수 있는 반응성 가스를 주입하여 얘네들이 화학 반을 후 막을 형성시키는 방법입니다. - CVD에서 내가 원하는 막을 증착시키기 위해서는 어떤 반응성 가스를 사용해야할지 잘 알아놔야겠죠? ▶ CVD 기본적 순서.. 2023. 7. 16. 이전 1 다음 반응형
