반응형 플라즈마 식각 기술1 플라즈마 식각 기술 간단히 알아보기 @ DC 플라즈마 안녕하세요, 송송입니다..! 계속해서 DC 플라즈마에 관한 이야기를 해보려고 합니다. 저번 시간에 DC 플라즈마 내 존재하는 여러 영역에 대해 소개해 드렸습니다. 그렇다면 이번엔 각 영역마다 어떠한 역할을 하고 있는지 같이 확인해보도록 하겠습니다. 먼저, 직류 플라즈마의 음극 지역을 먼저 보도록 하겠습니다.(1 cm 정도 음극 쉬쓰 영역 존재) 1. 음극 지역 (Cathode) - 음극 지역은 플라즈마로부터 멀어지는 영역 중 플라즈마, 쉬쓰 천이지역, 디바이 지역, 공간전하 전류제한 지역으로 분류됩니다. 저와 함께 하나하나 살펴보겠습니다.! 1) 쉬쓰 천이지역 - 플라즈마 내 전위 차이로 인해 이온의 속도가 증가하는 구역 ( 쉬쓰 천이지역은 이전 글에서 다뤘으니 참고바랍니다~) 2) 디바이 지역 - 플로.. 2023. 7. 12. 이전 1 다음 반응형
