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반도체 8대 공정 간단히 알아보기 part.5 @ 증착 공정 안녕하세요, 송송입니다. 이번 시간엔 끔찍한 식각 공정에 관한 이야기는 내던져 버리고 다음 공정으로 넘어가보겠습니다. 이번엔 증착(Deposition) 공정에 대해 간단히 알아보겠습니다. 지금까지 우리가 했던 식각은 원하는 물질을 깎아 내는거라면, 증착은 우리가 원하는 물질을 쌓는 것입니다. 매우 간단하죠? 그럼 같이 한번 알아가봅시다. 1. 증착(Deposition) 공정 이란? - 반도체 소자를 구동하기 위해 웨이퍼 위 박막의 두께로 분자 또는 원자 단위의 물질을 막(Film)으로 입혀 전기적 특성을 갖게 하는 공정 * 원하는 박막을 씌우는 일은 고난이도 기술력이 필요한 작업이라고 할 수 있습니다. (웨이퍼 위에 Uniformity 한 박막을 덮는 일이 그렇게 쉬운일은 아닙니다.) 우리는 굳이 따지자.. 2023. 7. 15.
차세대 식각 기술 @ ALE 간단히 알아보기 안녕하세요, 송송입니다. 최근 포스팅에서 다 지루하고 살짝 어려운 플라즈마 이론에 대해 함께 공부했습니다. 이제는 이론을 넘어서 요즘 식각 공정은 뭘 원하고, 어떻게 돌아가고 있는지 한번 알아보는 시간 갖겠습니다. 이번 시간에는 플라즈마 식각 공정 기술 중, ALE(Atomic Layer etch)에 대해 간단히 알아보겠습니다. 1. What is the ALE? - ALE(Atomic Layer Etch) 원자층 식각 공정 ▶ 제가 소개할떄 뭐 최근 트랜드니 그랬지만, 실상은 ALE 기술은 30년 전 첫 연구된 아주 오래전 기술입니다. 그런데 왜 대체 지금와서 최신 기술이니 뭐니 떠드는거야?? → 예전에는 낮은 생산 수율로 인해 그저그런 기술로 평가받았습니다만, 현재 반도체 소자가 나노 스케일로 작아지.. 2023. 7. 14.
플라즈마 식각 기술 간단히 알아보기 Final @ RF 플라즈마 안녕하세요, 송송입니다. 드디어! 드디어 플라즈마 식각 기술에 관한 플라즈마 관련 내용이 마무리 되는 시간이 왔습니다~ 물론 플라즈마 식각 기술 관련해서 더 깊은 지식을 전달 못드렸지만, 저희는 간단하게라도 알아보고 이해했다면, 그게 바로 가성비죠! 마지막 시간은 RF 플라즈마를 다뤘었지만, 빠진 부분에 대해 추가적으로 설명한 뒤, 반도체 8대 공정 중 5번째 공정! 증착 공정 관련해서 소개해드리겠습니다.... 가 아니고!! * 식각과 관련해서는 최신 트랜드(?) ALE, 극저온 식각 등 다양한 기술들이 있습니다.. 그렇기 때문에 이 기술들이 대체 뭔지, 왜 쓰는지 한번 같이 알아보도록 하겠습니다. 저도 포기 하지 않을거에요. 여러분도 함께 갑시다. 1) 고주파를 왜 사용하는가? - 직류 플라즈마에 경우.. 2023. 7. 13.
플라즈마 식각 기술 간단히 알아보기 @ DC 플라즈마 안녕하세요, 송송입니다..! 계속해서 DC 플라즈마에 관한 이야기를 해보려고 합니다. 저번 시간에 DC 플라즈마 내 존재하는 여러 영역에 대해 소개해 드렸습니다. 그렇다면 이번엔 각 영역마다 어떠한 역할을 하고 있는지 같이 확인해보도록 하겠습니다. 먼저, 직류 플라즈마의 음극 지역을 먼저 보도록 하겠습니다.(1 cm 정도 음극 쉬쓰 영역 존재) 1. 음극 지역 (Cathode) - 음극 지역은 플라즈마로부터 멀어지는 영역 중 플라즈마, 쉬쓰 천이지역, 디바이 지역, 공간전하 전류제한 지역으로 분류됩니다. 저와 함께 하나하나 살펴보겠습니다.! 1) 쉬쓰 천이지역 - 플라즈마 내 전위 차이로 인해 이온의 속도가 증가하는 구역 ( 쉬쓰 천이지역은 이전 글에서 다뤘으니 참고바랍니다~) 2) 디바이 지역 - 플로.. 2023. 7. 12.
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