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차세대 식각 기술 @ ALE 간단히 알아보기 안녕하세요, 송송입니다. 최근 포스팅에서 다 지루하고 살짝 어려운 플라즈마 이론에 대해 함께 공부했습니다. 이제는 이론을 넘어서 요즘 식각 공정은 뭘 원하고, 어떻게 돌아가고 있는지 한번 알아보는 시간 갖겠습니다. 이번 시간에는 플라즈마 식각 공정 기술 중, ALE(Atomic Layer etch)에 대해 간단히 알아보겠습니다. 1. What is the ALE? - ALE(Atomic Layer Etch) 원자층 식각 공정 ▶ 제가 소개할떄 뭐 최근 트랜드니 그랬지만, 실상은 ALE 기술은 30년 전 첫 연구된 아주 오래전 기술입니다. 그런데 왜 대체 지금와서 최신 기술이니 뭐니 떠드는거야?? → 예전에는 낮은 생산 수율로 인해 그저그런 기술로 평가받았습니다만, 현재 반도체 소자가 나노 스케일로 작아지.. 2023. 7. 14.
플라즈마 식각 기술 간단히 알아보기 Final @ RF 플라즈마 안녕하세요, 송송입니다. 드디어! 드디어 플라즈마 식각 기술에 관한 플라즈마 관련 내용이 마무리 되는 시간이 왔습니다~ 물론 플라즈마 식각 기술 관련해서 더 깊은 지식을 전달 못드렸지만, 저희는 간단하게라도 알아보고 이해했다면, 그게 바로 가성비죠! 마지막 시간은 RF 플라즈마를 다뤘었지만, 빠진 부분에 대해 추가적으로 설명한 뒤, 반도체 8대 공정 중 5번째 공정! 증착 공정 관련해서 소개해드리겠습니다.... 가 아니고!! * 식각과 관련해서는 최신 트랜드(?) ALE, 극저온 식각 등 다양한 기술들이 있습니다.. 그렇기 때문에 이 기술들이 대체 뭔지, 왜 쓰는지 한번 같이 알아보도록 하겠습니다. 저도 포기 하지 않을거에요. 여러분도 함께 갑시다. 1) 고주파를 왜 사용하는가? - 직류 플라즈마에 경우.. 2023. 7. 13.
플라즈마 식각 기술 간단히 알아보기 @ DC 플라즈마 안녕하세요, 송송입니다..! 계속해서 DC 플라즈마에 관한 이야기를 해보려고 합니다. 저번 시간에 DC 플라즈마 내 존재하는 여러 영역에 대해 소개해 드렸습니다. 그렇다면 이번엔 각 영역마다 어떠한 역할을 하고 있는지 같이 확인해보도록 하겠습니다. 먼저, 직류 플라즈마의 음극 지역을 먼저 보도록 하겠습니다.(1 cm 정도 음극 쉬쓰 영역 존재) 1. 음극 지역 (Cathode) - 음극 지역은 플라즈마로부터 멀어지는 영역 중 플라즈마, 쉬쓰 천이지역, 디바이 지역, 공간전하 전류제한 지역으로 분류됩니다. 저와 함께 하나하나 살펴보겠습니다.! 1) 쉬쓰 천이지역 - 플라즈마 내 전위 차이로 인해 이온의 속도가 증가하는 구역 ( 쉬쓰 천이지역은 이전 글에서 다뤘으니 참고바랍니다~) 2) 디바이 지역 - 플로.. 2023. 7. 12.
직류 플라즈마 간단히 알아보기 Part.1 안녕하세요... 반도체 8대 공정 중 식각 공정에서 플라즈마를 다루다 보니 계속해서 플라즈마와 관련된 것 밖에 설명하지 않고 있습니다. 그리하여, 플라즈마에 대해 속 시원하게 다 얘기하고 증착 공정으로 넘어가겠습니다. 오늘은 직류 플라즈마에 관해서 다뤄보도록 하겠습니다. 플라즈마가 뭔지, 어떻게 발생되는지는 전부터 계속 다뤄왔습니다. 까먹으셨다면 다시 확인하고 오시길 바랍니다! 반도체 공정 간단히 알아보기 part.4 @ 식각 공정 + 플라즈마 반도체 공정 간단히 알아보기 part.4 @ 식각 공정 + 플라즈마 안녕하세요, 송송입니다. 저번 시간엔 식각 공정에 대해 간단히 알아보았죠? 이번 시간엔 건식 식각에서 대표적으로 사용되는 플라즈마에 대해 소개하고자 합니다. 특히, 플라즈마를 이용한 식 ssong.. 2023. 7. 11.
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