반응형 cvd1 반도체 8대 공정 간단히 알아보기 part5 @ CVD, PVD 안녕하세요, 송송입니다. 저번 시간엔 증착 공정에 대해 간단히 알아보았는데요, 증착하는 방법에 따라 CVD, PVD로 나뉜다고 말씀드렸었죠? 이번 시간에는 CVD와 PVD에 대해 알아보겠습니다. 그럼 바로 시작하시죠. 1. CVD(Chemical Vapor Deposition) : 화학적 기상 증착법 - 반응기 안에서 화학 증착 반응 기체들을 주입하여 화학 반응에 의해 생성된 고체 화합물을 증착시키는 방법 *말이 어렵죠. 간단히 가볼게요. 반응기=챔버 챔버 안에 우리가 증착하고자 하는 물질을 생성할 수 있는 반응성 가스를 주입하여 얘네들이 화학 반을 후 막을 형성시키는 방법입니다. - CVD에서 내가 원하는 막을 증착시키기 위해서는 어떤 반응성 가스를 사용해야할지 잘 알아놔야겠죠? ▶ CVD 기본적 순서.. 2023. 7. 16. 이전 1 다음 반응형
