반응형 ald1 반도체 8대 공정 간단히 알아보기 part.5 @ ALD 안녕하세요, 송송입니다. 저번 시간에는 증착 공정에서 CVD, PVD에 대해 알아봤습니다. 이번 시간에는 Atomic Layer Deposion 공정에 대해 알아보겠습니다. 식각 공정에서 다뤘던 ALE 공정의 역방향으로 생각하시면 충분히 이해하기 쉬울거라고 생각합니다. ALE도 잘 모르겠다면 이전 글을 참고하세요! 2023.07.14 - [분류 전체보기] - 차세대 식각 기술 @ ALE 간단히 알아보기 1. ALD(Atomic Layer Deposition) : 원차층 증착법 - 한층 한층씩 증착시킨다는 말입니다. 자, 그럼 어떻게 한층 한층 쌓느냐. 같이 알아보겠습니다. - ALD는 쉽게 4 Step으로 나눌 수 있습니다. 1) 흡착 단계 : 전구체를 챔버에 주입하면 기판과 화학 반응한다. * 전구체 .. 2023. 7. 18. 이전 1 다음 반응형
