반응형 칠러1 반도체 장비에서 칠러(Chiller) 역할에 대해 알아보자 안녕하세요, 송송입니다.이번 시간에는 반도체 공정 장비들의 짝꿍(?)이라고도 할 수 있는 후속 장비들이 있습니다.공정을 하기 위해 필요한 처리 장비들이죠. 그 중에서도 또 필수적으로 설치되어야하는 냉각장치 칠러에 대해 알아보겠습니다. 반도체 공정에서 칠러의 역할 | 냉각 장비의 핵심 기능1. 칠러란 무엇인가?칠러(Chiller)는 냉각을 통해 열을 제거하는 장비로, 다양한 산업에서 사용됩니다. 특히 반도체 공정에서 칠러는 장비와 웨이퍼의 온도를 조절하여 공정의 정밀도와 안정성을 보장하는 중요한 역할을 합니다.반도체 공정은 고온 환경에서 이루어지는 경우가 많기 때문에, 공정 중 발생하는 열을 제거하지 않으면 장비가 과열되거나 웨이퍼가 손상될 위험이 있습니다. 칠러는 이런 열을 효과적으로 제거함으로써 안정적.. 2025. 1. 2. 이전 1 다음 반응형
