반응형 질량유량계1 [반도체 MFC] 질량유량계(Mass Flow Controller)란 무엇인가? 질량유량계 (MFC)란? | 반도체 공정 필수 장비안녕하세요, 송송입니다. 이번에는 반도체 제작 장비에 필수적으로 사용되고 있는 MFC에 대해 알아보도록 하겠습니다.반도체 제조 공정에서는 정밀한 가스 공급이 필수적입니다. 이를 위해 사용되는 핵심 장비인 질량유량계(Mass Flow Controller, MFC)의 원리, 오리피스 역할, 반도체 공정에서의 중요성과 국내 제조업체에 대해 알아보겠습니다.1. 질량유량계(MFC)란?질량유량계(Mass Flow Controller, MFC)는 기체나 액체의 유량을 정밀하게 측정하고 제어하는 장비입니다. 특히 반도체, 디스플레이, 화학, 제약 산업에서 널리 사용됩니다.반도체 제조 공정에서는 극소량의 가스를 일정한 흐름으로 공급해야 하기 때문에 MFC의 역할이 매우 .. 2025. 2. 27. 이전 1 다음 반응형
