반응형 진공 게이지1 진공공학 간단히 알아보기 part.3 Final 안녕하세요, 송송입니다. 오늘은 진공도를 측정하는 진공 게이지에 대해 알아보도록 하겠습니다. 사실 진공 게이지의 경우, 사용환경 및 공정에 따라 무수히 많은 스펙을 고려해 사용해야합니다... 저희는 진공에 대한 전문가가 아니니 가장 보편적인 진공 게이지에 대해 간단히 알아보겠습니다! 1. 저진공 게이지 - 피라냐 게이지(Pirani gauge) : 게이지 내부에 Pt 또는 Pt-Rh으로 구성된 필라멘트가 존재합니다. 필라멘트는 항상 자기 자신만의 일정한 온도를 유지하고 있습니다. 이 필라멘트에 기체 분자가 지나가게 되면, 필라멘트는 기체로부터 열을 빼앗기게 됩니다. 필라멘트는 다시 온도를 유지하기 위해 빼앗긴 열을 보상하기 위해 전압 또는 전류가 변화하게 됩니다. 이때 변화하는 전압 또는 전류 변화를 측.. 2023. 6. 27. 이전 1 다음 반응형
