반응형 정전척1 [반도체 장비] ESC(Electro-Static Chuck)이란 무엇인가? 반도체 장비 부품 ESC(Electro-Static Chuck) 정전척이란 무엇인가?반도체 공정 장비에서 ESC(Electro-Static Chuck, 정전척)는 반도체 웨이퍼를 고정하는 핵심 부품입니다. ESC의 역할, Mono-polar와 Bi-polar 방식, He 가스 홈, 사용 소재, 공정 중요성, 그리고 국내 기업의 기술력을 함께 알아봅니다.1. ESC(Electro-Static Chuck)란 무엇인가?ESC는 Electro-Static Chuck의 약자로, 정전력을 이용해 반도체 웨이퍼를 고정하는 장치입니다. 반도체 제조 공정은 플라즈마 환경에서 높은 정밀도가 요구되기 때문에 ESC는 웨이퍼를 안전하고 견고하게 고정하는 역할을 합니다. 특히 식각(etching), 증착(deposition),.. 2024. 12. 31. 이전 1 다음 반응형